普泰克：以精准温控赋能半导体智造

作为半导体温控领域的专业力量，普泰克（上海）制冷设备技术有限公司聚焦行业痛点，提供覆盖前、中、后道全流程的温控解决方案。

核心技术优势

超高精度控温：普泰克PTS系列高精度冷热循环器采用动态PID+模糊控制算法，可实现±0.01℃～±0.1℃的控温精度，满足先进制程对温度稳定性的苛求。

宽温域与快速响应：覆盖-45℃至300℃的宽温度范围，支持快速升降温，适配光刻、刻蚀、薄膜沉积等不同工艺的差异化需求。

多通道独立控温：针对刻蚀等多反应腔室设备，提供单通道、双通道、三通道系列产品，各通道可独立设定温度，避免工艺交叉干扰。

关键应用场景解决方案

高纯前驱体材料温控：针对ALD/CVD前驱体对温度极度敏感、惧怕金属离子污染的特性，普泰克提供PTFE/316L EP超高纯流路，支持惰性气氛吹扫，将控温精度与材料纯度保障提升至新高度。

化学品及研磨液精准控温：刻蚀液、显影液、CMP研磨液等化学品的温度稳定性直接影响工艺均匀性。普泰克TLS系列精密冷水机采用耐腐蚀设计（可定制哈氏合金/PTFE流路），防颗粒、防结晶，保障CMP供液系统长期稳定运行。

智能化与节能：采用变频智能控制技术，根据热负载精准调节压缩机输出，在满足制程需求的同时实现低能耗；全密闭循环系统避免油雾异味，延长导热液寿命。

结语

随着芯片制程向3nm及以下节点演进，温度控制的精度正迈向±0.01℃级别。普泰克凭借对半导体温控技术的深刻理解与持续创新，致力于为行业提供更精准、更可靠、更节能的Chiller解决方案，守护每一颗芯片的诞生。

普泰克（上海）制冷设备技术有限公司
专注半导体温控，为“芯"制造保驾护航。