停机前处理，先逐步降低设备负荷，不要直接紧急断电停机。待制冷机降温，内部温度接近环境温度后，再停止主机运行。关闭进气气源阀门，切断设备供气，把管路、冷头内部残留的工艺气体、杂质气体充分吹扫置换，优先使用干燥高纯氮气吹扫，避免水汽、腐蚀性气体长期留在腔体内部，防止管路、冷头内壁锈蚀。排放设备内部冷凝水、积液，确认所有积液排净，残留水分会在静置期间造成内部零件腐蚀。
气路系统养护，检查所有管路、阀门，确认阀门状态到位，对进出口管路接口做好封堵保护，使用防尘堵头密封，防止空气中粉尘、水汽进入管路内部。检查过滤器、滤芯，若滤芯已经吸附较多杂质，停机期间建议拆下或者直接更换，避免滤芯受潮滋生污物、堵塞孔道。检查压力表、压力传感器，记录停机前压力读数，泄压至常压存放，不要长期带压静置，防止密封件长期受压老化。
冷头与真空部分养护，如果设备配套真空腔体，需要评估保压能力。长期停机可保持真空或者充入干燥惰性气体保护，防止真空内壁氧化、吸附水汽。检查冷头密封面、密封圈，查看有无老化、变形痕迹，潮湿环境下密封件容易发生老化失效，必要时做防护包裹。不要拆解真空密封组件，随意拆卸会破坏原有密封性能。
电气与控制系统养护，切断设备总供电电源，断开接线端子，做好线路标识。清理电控箱内部粉尘，使用干燥气体吹扫箱内灰尘，严禁使用湿抹布擦拭电路板。检查电缆外皮有无破损，接头做好防尘保护。控制器、显示屏避免阳光直射和潮湿环境，防止电路板受潮短路。存放环境湿度控制在合理范围，潮湿季节可放置干燥剂在控制柜附近。
运动部件与润滑养护，确认轴承、活塞、往复运动部件状态，按照设备手册要求加注保护润滑介质。长期静置，润滑油会沉降、干结，再次开机容易出现卡滞。如果设备带有油泵，可按需维持少量保护油浸泡，防止部件锈蚀。避免部件长时间在同一位置静态受压，有条件可每隔一段时间手动盘动主机，防止活塞、轴承卡死，盘动操作严格遵循厂家规范。
存放环境要求，设备放置区域保持干燥通风，远离腐蚀性气体、粉尘、积水区域，避免低温环境造成管路内残留液体结冰。做好设备防尘保护，整机覆盖防尘罩，防止灰尘堆积在散热翅片、冷头表面。避免设备承受外力撞击，管路不要承受额外应力，支撑底座保持稳固。
安全与开机前检查，停机期间定期巡检，查看有无管路泄漏、锈蚀情况，记录状态。再次启用前，不要直接上电开机。先检查密封件、管路，重新做气密性检漏；吹扫管路，检查润滑系统；空载试运行，观察振动、噪音、压力是否正常，确认无异常再投入使用。
注意事项，严禁在内部残留可凝性油气、腐蚀性气体的状态下长期存放。各类橡胶密封件长期静置会自然老化，停机时间较长，复机前建议重点检查全部密封圈。如果停机环境温差大，需防范结露，水汽进入冷机内部会造成不可逆损伤。完整记录停机时间、各项检查内容，方便复机时追溯。
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更新时间：2026-10-06
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