普泰克半导体PECVD冷却机

产品简介：

普泰克半导体PECVD冷却机，主要用于半导体薄膜沉积设备及其配套部件的温度管理。其应用重点不是替代PECVD工艺本身，而是为腔体、基座、射频电源、真空部件和工艺冷却回路提供稳定的冷却或恒温支持。

Name: 普泰克 半导体PECVD冷却机
Brand: proteco/普泰克
Price: 39000 CNY
Availability: InStock

产品型号：

更新时间：2026-10-19

厂商性质：生产厂家

访问量：5

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产品介绍

普泰克半导体PECVD冷却机

普泰克面向PECVD工艺配套的冷却机/温控系统，主要用于半导体薄膜沉积设备及其配套部件的温度管理。其应用重点不是替代PECVD工艺本身，而是为腔体、基座、射频电源、真空部件和工艺冷却回路提供稳定的冷却或恒温支持。

普泰克半导体PECVD冷却机，主要应用领域

表格

应用方向	典型对象	应用价值
PECVD设备腔体温控	反应腔体、加热/冷却夹套、腔壁	降低温度漂移，支持沉积工艺稳定性
基座/静电吸盘换热	ESC、基座换热回路	提升晶圆温度一致性，利于工艺重复性
射频电源与匹配网络冷却	RF电源、匹配器、传输部件	维持部件工作温度，降低热波动影响
真空系统冷却	干泵、分子泵、冷凝泵、真空管路	保障真空系统连续运行与散热稳定
工艺冷却水管理	设备冷却水回路、换热站	提供恒温、恒流、恒压冷却支持
半导体设备配套验证	研发平台、中试线、产线改造	用于热负荷评估、温控窗口筛选和工艺验证

延伸应用范围

除PECVD外，普泰克半导体温控设备还可覆盖CVD/PVD、刻蚀、离子注入、CMP、清洗、光刻配套、芯片测试等场景；同时也服务于新能源电池测试、生物医药反应控温、材料测试、激光与光学设备恒温等领域。

文案使用提示

对外产品介绍中，建议采用“适用于PECVD设备配套冷却"“可用于腔体/基座/射频部件温控"这类表述，避免把普泰克直接描述为PECVD整机厂商。具体温域、制冷量、流量、压力、控温精度和通讯接口，仍需按实际PECVD设备热负荷与现场条件确认。

普泰克半导体PECVD冷却机

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普泰克半导体PECVD冷却机，主要用于半导体薄膜沉积设备及其配套部件的温度管理。其应用重点不是替代PECVD工艺本身，而是为腔体、基座、射频电源、真空部件和工艺冷却回路提供稳定的冷却或恒温支持。

普泰克半导体PECVD冷却机，主要应用领域

延伸应用范围

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普泰克半导体PECVD冷却机，主要应用领域