普泰克 PECVD机台配套冷水机，主要用于PECVD设备内部需要稳定散热和恒温控制的部位，可覆盖反应腔体、基座、射频电源、真空系统、工艺冷却水回路以及设备研发验证等环节。

Name: 普泰克 PECVD机台配套冷水机
Brand: proteco/普泰克
Price: 39000 CNY
Availability: InStock

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更新时间：2026-10-19

厂商性质：生产厂家

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产品介绍

普泰克 PECVD机台配套冷水机，主要用于PECVD设备内部需要稳定散热和恒温控制的部位，可覆盖反应腔体、基座、射频电源、真空系统、工艺冷却水回路以及设备研发验证等环节。

表格

应用部位	主要作用
反应腔体/沉积室冷却	带走腔壁、电极、加热外壳等部位热量，降低热漂移，支持沉积过程稳定性。
基座/静电吸盘温控	为基座换热回路提供稳定冷却或加热介质，提升晶圆/样品温度一致性。
射频电源与匹配网络冷却	维持RF电源、匹配器工作温度，减少热波动对功率输出和工艺稳定性的影响。
真空系统冷却	为干泵、分子泵、罗茨泵、机械泵等提供冷却水，保障真空系统连续运行。
工艺冷却水回路管理	为PECVD整机冷却水回路提供恒温、恒流、恒压支持，减少水温波动对设备运行的影响。
气体输送与辅助部件冷却	用于部分管路、阀组、法兰、绝缘冷却管路等辅助部位的散热与温度稳定。
研发与中试验证	在PECVD设备开发、工艺调试、热负荷评估阶段提供可复现的温控条件。