普泰克 PECVD工艺冷却机，PECVD工艺中，反应腔体、基座、射频电源、匹配网络和真空泵组都会产生热负荷；若温度波动较大，可能影响沉积速率、薄膜均匀性、应力状态和工艺重复性。

Name: 普泰克 PECVD工艺冷却机
Brand: proteco/普泰克
Price: 39000 CNY
Availability: InStock

产品型号：

更新时间：2026-10-19

厂商性质：生产厂家

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产品介绍

普泰克 PECVD工艺冷却机，本质上是通过精密制冷、加热和循环控制，把工艺设备产生的热量带走或补充热量，使腔体、基座、射频电源、真空系统等部件维持在设定温度范围内。它不直接参与薄膜沉积反应，而是为PECVD机台提供稳定的热管理环境。

PECVD工艺中，反应腔体、基座、射频电源、匹配网络和真空泵组都会产生热负荷；若温度波动较大，可能影响沉积速率、薄膜均匀性、应力状态和工艺重复性。

普泰克 PECVD工艺冷却机，通常按“检测—计算—调节—循环换热"的闭环方式工作：

表格

技术路线	工作原理	适用场景
压缩机制冷型	基于蒸汽压缩制冷循环，通过蒸发器吸热、压缩机增压、冷凝器放热、节流阀降压实现连续制冷。	常规腔体冷却、射频电源冷却、真空系统冷却、整机冷却水回路
制冷加热一体型	在制冷基础上增加电加热模块，可同时满足降温、升温和恒温需求。	需要程序控温、升降温切换或多温区管理的场景
半导体制冷型	基于帕尔贴效应，通过直流电驱动P/N型半导体实现固态制冷，无压缩机运动部件。	对振动、噪声要求较高的精密温控场景
多回路/多温区型	通过多个独立循环回路分别控制不同负载温度。	腔体、基座、射频、泵组等对象温度需求不一致时