普泰克 PECVD反应腔冷水机，主要用于稳定反应腔温度、带走腔壁和电极热负荷、配合基座换热回路运行，并为整机工艺冷却水回路提供恒温冷源。它不直接参与等离子体沉积反应，而是作为PECVD机台的热管理配套单元。

Name: 普泰克 PECVD反应腔冷水机
Brand: proteco/普泰克
Price: 39000 CNY
Availability: InStock

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更新时间：2026-10-19

厂商性质：生产厂家

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普泰克 PECVD反应腔冷水机，主要用于稳定反应腔温度、带走腔壁和电极热负荷、配合基座换热回路运行，并为整机工艺冷却水回路提供恒温冷源。它不直接参与等离子体沉积反应，而是作为PECVD机台的热管理配套单元。

表格

应用部位	具体作用
反应腔壁/腔体冷却	带走腔壁、电极、外壳等部位热量，降低热漂移，支持沉积过程稳定运行。
基座/静电吸盘换热	为基座换热回路提供稳定冷却或加热介质，提升晶圆/样品温度一致性。
射频电源与匹配网络冷却	维持RF电源、匹配器工作温度，减少热波动对功率输出的影响。
真空系统冷却	为干泵、分子泵、机械泵等提供连续冷却水，保障真空系统稳定运行。
整机工艺冷却水回路	作为PECVD设备外部恒温冷源，降低厂务水温波动对设备运行的影响。
工艺温度曲线控制	支持升温、恒温、降温及程序化控温，适配不同沉积工艺阶段。
研发与中试验证	用于热负荷评估、温控窗口筛选、工艺重复性验证和设备联调。