普泰克制冷设备

专注于半导体行业温控

服务热线：15214387784

产品中心

PRODUCTS CENTER

当前位置：首页产品中心制冷加热控温系统制冷直热一体测试机普泰克 PECVD加热冷却一体机

普泰克 PECVD加热冷却一体机
产品简介：

普泰克 PECVD加热冷却一体机，是一台既能制冷又能加热的高低温一体温控设备，用来给 PECVD 机台或相关部件提供稳定的工艺冷却水/导热介质，并按设定温度进行双向调节。

产品型号：

更新时间：2026-10-19

厂商性质：生产厂家

访 问 量 ：7

服务热线

15214387784

立即咨询

产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION
查看全部产品

相关文章

RELATED ARTICLES
冷却水循环装置构建高效热交换的闭环系统
普泰克-半导体专用温控操作使用
冷热之间：直冷机与风冷机的比较分析
解析半导体冷却加热恒温一体机在工业生产和科研领域中的重要性
压缩机式冷水机：工业制冷降温设备
产品介绍
普泰克 PECVD加热冷却一体机，本质上是一台既能制冷又能加热的高低温一体温控设备，用来给 PECVD 机台或相关部件提供稳定的工艺冷却水/导热介质，并按设定温度进行双向调节。
它不是 PECVD 整机，也不直接完成薄膜沉积，而是作为 PECVD 设备的配套温控单元，帮助稳定腔体、基座、射频部件、真空系统或工艺冷却回路的热状态。

这台设备具体能干什么

表格
下载为表格
导出为图片
能干什么对 PECVD 配套的价值
为反应腔/腔壁提供恒温冷却带走腔体热负荷，降低热漂移，有助于维持沉积过程稳定。
为基座/静电吸盘换热回路提供介质维持基座换热回路温度稳定，提升晶圆/样品温度一致性。
支持升温、恒温和降温切换一台设备同时具备制冷和加热能力，适配不同工艺阶段。
为射频电源与匹配网络散热维持 RF 部件工作温度，减少热波动对功率输出的影响。
为真空泵组提供连续冷却水支持干泵、分子泵等真空部件稳定运行。
管理整机工艺冷却水回路降低厂务水温波动对 PECVD 设备运行的影响。
执行程序化温度曲线可按设定曲线完成升温、保温、降温等阶段控制，便于工艺验证。
用于研发、中试和联调在设备开发、热负荷评估和工艺调试阶段提供可复现的温控条件。

普泰克 PECVD加热冷却一体机，为什么需要“加热+冷却"一体

PECVD 工艺中，不同阶段对温度需求不同：有的需要稳定冷却，有的需要恒温保持，有的需要在工艺切换时快速降温或升温。相比只制冷的冷水机，加热冷却一体机可以通过一套密闭循环系统完成制冷、加热和恒温切换，减少多台设备配合，也便于实现程序化控温。
普泰克高低温一体/密闭动态温控产品通常具备以下特点：

  • 宽温域：可覆盖较宽温度范围，部分产品支持 -80℃ 至 200℃ 甚至更宽温域，具体需按 PECVD 工况确认。

  • 精密控温：半导体级产品控温精度可达 ±0.1℃，有利于降低温度波动对工艺重复性的影响。

  • 密闭循环：导热介质与空气隔离，减少氧化、吸湿和污染风险。

  • 快速响应：采用自适应 PID 控制，配合板式换热器和循环泵，热惯性较小。

  • 智能监控：支持温度、流量、压力等参数监测，可选通讯接口接入设备控制系统。

普泰克 PECVD加热冷却一体机


上一个：普泰克 PECVD反应腔冷水机

返回列表

下一个：普泰克 等离子增强沉积温控机组

在线留言

ONLINE MESSAGE

留言框

  • 产品：

  • 您的单位：

  • 您的姓名：

  • 联系电话：

  • 常用邮箱：

  • 省份：

  • 详细地址：

  • 补充说明：

  • 验证码：

    请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7

  • 服务热线 15214387784
  • 电子邮箱

    ptktg001@pro-teco.com

扫码加微信

关于我们新闻中心技术文章在线留言联系我们

Copyright © 2026 普泰克（上海）制冷设备技术有限公司版权所有    备案号：沪ICP备2021029247号-5

技术支持：化工仪器网    sitemap.xml