普泰克管式PECVD冷水机

产品简介：

普泰克管式PECVD冷水机，面向管式PECVD/管式炉沉积设备配置的精密冷水机或制冷加热一体温控设备。它不直接完成薄膜沉积，而是为管式PECVD机台提供稳定的工艺冷却水/导热介质，用于冷却炉体外壳、机械部件、真空系统和整机冷却回路，并在需要时提供恒温或程序控温。

Name: 普泰克 管式PECVD冷水机
Brand: proteco/普泰克
Price: 39000 CNY
Availability: InStock

产品型号：

更新时间：2026-10-19

厂商性质：生产厂家

访问量：6

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产品介绍

普泰克管式PECVD冷水机，可以理解为面向管式PECVD/管式炉沉积设备配置的精密冷水机或制冷加热一体温控设备。它不直接完成薄膜沉积，而是为管式PECVD机台提供稳定的工艺冷却水/导热介质，用于冷却炉体外壳、机械部件、真空系统和整机冷却回路，并在需要时提供恒温或程序控温。

这台设备具体能干什么

表格

能干什么	对管式PECVD配套的价值
冷却管式炉加热外壳/炉体夹套	带走炉体外壁、加热夹套等部位热量，降低热漂移，有助于维持沉积过程稳定。
为真空系统提供冷却水	为机械泵、罗茨泵、干泵、分子泵等提供连续冷却，保障真空系统稳定运行。
冷却匹配网络、法兰、阀组等辅助部件	维持射频匹配箱、管路法兰、阀组等部位温度，减少热积累对连续运行的影响。
管理整机工艺冷却水回路	作为管式PECVD设备外部恒温冷源，降低厂务水温波动对设备运行的影响。
支持恒温、降温及程序控温	可按工艺阶段提供稳定冷却或温度曲线控制，便于工艺调试和重复性验证。
用于研发、中试和产线配套	在设备开发、热负荷评估、工艺窗口筛选阶段提供可复现的温控条件。

管式PECVD场景下的重点用途

管式PECVD通常采用管式炉结构，加热区位于石英管外部，工艺温度由加热系统控制；而冷却系统主要用于冷却加热外壳、机械泵、罗茨泵、干泵、分子泵等部件。普泰克这类冷水机/温控设备通常承担以下任务：

炉体外壳冷却：降低加热炉外壁温升，减少热量向周围环境扩散。
真空部件冷却：为干泵、分子泵、机械泵等提供稳定冷却水。
射频匹配箱与辅助部件冷却：维持匹配网络、法兰、阀组等部位工作温度。
整机冷却水回路管理：提供恒温、恒流、恒压冷却支持。
程序化温度控制：在需要升降温切换或恒温保持时，提供可重复的温度曲线。

普泰克管式PECVD冷水机，设备能力参考

普泰克半导体级精密冷水机/温控产品通常具备以下特点：

精密控温：核心产品控温精度可达±0.1℃，有利于降低温度波动对工艺重复性的影响。
密闭循环：采用全密闭回路设计，减少导热介质氧化、吸湿和污染风险。
快速响应：采用自适应PID控制，配合板式换热器和循环泵，热惯性较小。
智能监控：支持温度、流量、压力等参数监测，可选Modbus等通讯接口。
可定制配置：可按多回路、多温区、洁净适配、恒流恒压等需求配置。

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