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  • 温湿度控制系统
    温湿度控制系统

    温湿度控制系统在基板曝光前,能有效维持其表面温度的均一性。经过此设备处理后的空气,温度控制精度可达目标值±0.01℃,充分满足制程环境对温控的要求。

    更新时间:2024-11-09型号:浏览量:137
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