Chiller主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成，采用先进的控制算法，提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃~85℃之间任意控温，有良好的温度稳定性。

半导体温控设备Chiller由制冷，加热单元，循环，控制系统组成，全密封结构对环境友好，产品系统多，控温范围广，智能化控制软件，加热制冷速度快。