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半导体高低温测试机
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Chiller主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温,装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成,采用先进的控制算法,提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃,可在-20℃~85℃之间任意控温,有良好的温度稳定性。
半导体温控设备Chiller由制冷,加热单元,循环,控制系统组成,全密封结构对环境友好,产品系统多,控温范围广,智能化控制软件,加热制冷速度快。
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