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普泰克 气体制冷机给芯片 、模块 、集成电路板、电子元器件等提供精确且快速的环境温度。替代液氮为局部热源提供快速降温。产品电性能、可靠性、老化等测试提供冷源。

温湿度调节装置在基板曝光前，能有效维持其表面温度的均一性。经过此设备处理后的空气，温度控制精度可达目标值±0.01℃，充分满足制程环境对温控的要求。