半导体温控设备Chiller

简要描述：半导体温控设备Chiller由制冷，加热单元，循环，控制系统组成，全密封结构对环境友好，产品系统多，控温范围广，智能化控制软件，加热制冷速度快。

产品型号：
厂商性质：生产厂家
更新时间：2024-07-24
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详情介绍

半导体温控设备Chiller主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成，采用先进的控制算法，提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃~85℃之间任意控温，有良好的温度稳定性。

半导体温控设备chiller由制冷，加热单元，循环，控制系统组成，全密封结构对环境友好，产品系统多，控温范围广，智能化控制软件，加热制冷速度快。

产品分为：
1.单通道系列
2.双通道系列
3.三通道系统

产品细节：

半导体温控设备chiller参数说明：

	名称	参数	名称	参数	名称	参数
1	单通道系列	-20℃~+80℃	双通道系列	-45℃~+40℃	三通道系列	-20℃~+50℃
2	温度范围	±0.1℃	温度范围	±0.2℃	温度范围	±0.1℃
3	精度	2kw@-10℃	精度	11kw@-20℃/5kw@-40℃	精度	15kw@-10℃
4	冷却能力	3kw	冷却能力	2kw	冷却能力	2kw
5	加热能力	20LPM@0.6MPa	加热能力	17LPM@0.6MPa	加热能力	30LPM@0.85MPa
6	流量	Rc3/4"	流量	Rc3/4"	流量	Rc3/4"
7	端口大小	15~20°C	端口大小	15~20°C	端口大小	15~20°C
8	温度范围	15LPM	温度范围	30LPM	温度范围	30LPM
9	所需流量	Rc1/2"	所需流量	Rc1/2"	所需流量	Rc3/4"*2
10	端口大小	0.3~0.7MPa	端口大小	0.3~0.7MPa	端口大小	0.3~0.7MPa
11	进口压力	/	进口压力	/	进口压力	/