TLS精密冷水机：使用温度范围：5~85℃，配有加热器，属于制冷加热一体机。型号按加热功率命名，加热功率在1.5~25kW之间。精密冷水机可以满足精确控温的需求，也可以根据客户要求选配流量计和压力传感器。本产品适用于半导体制造装置、分析检测装置等发热部分的冷却及温度的控制。