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温湿度调节装置

简要描述:温湿度调节装置在基板曝光前,能有效维持其表面温度的均一性。经过此设备处理后的空气,温度控制精度可达目标值±0.01℃,充分满足制程环境对温控的要求。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-11-09
  • 访  问  量:108
详情介绍

温湿度调节装置

【设备特点】

1、精确温湿度调控:确保曝光机、显影/ 涂布设备等制程良率

2、定制化风量设计:根据客户的具体需求,定制风量,送风单元结构均匀布置,确保空气流通的均匀性,进一步提升制程质量。

3、超准温度控制:温度控制精度高达±0.01℃,远超行业标准,为产线环境提供了的稳定性,从而确保了产品的优良率。


【产品应用】

1、温度控制精度:±0.1℃~±0.01℃

2、湿度控制精度:±2%RH~±1%RH

3、广泛适用领域:该设备广泛应用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂等精密温湿度控制领域,助力企业提升产品质量,确保生产过程的稳定与高效。


一、温湿度调节装置在面板厂的应用

在面板制造过程中,对温湿度的控制至关重要。精密恒温恒湿机能够为面板生产提供稳定、精确的环境。以下是精密恒温恒湿机在面板厂的主要应用:

1、提高面板产品质量:通过精密恒温恒湿控制,降低面板产品的缺陷率,提高产品合格率。

2、优化生产流程:稳定的环境有利于提高生产效率,降低生产成本。

3、保护设备:精密恒温恒湿机能够保护生产设备,延长设备使用寿命。

二、温湿度调节装置在晶圆厂的应用

晶圆制造对温湿度的要求高,精密恒温恒湿机在晶圆厂的应用主要体现在以下几个方面:

1、提高晶圆产品质量:稳定的环境有利于降低晶圆缺陷,提高产品质量。

2、保障生产安全:精密恒温恒湿机能够防止静电、氧化等不良现象,确保生产安全。

3、降低能耗:通过优化温湿度控制,降低能耗,提高生产效益。

三、温湿度调节装置在封装测试厂的应用

1、封装测试厂对温湿度的要求同样严格,精密恒温恒湿机在封装测试厂的应用包括:

2、提高封装产品质量:稳定的环境有利于降低封装产品的缺陷率,提高产品合格率。

3、保护测试设备:精密恒温恒湿机能够保护测试设备,延长设备使用寿命。

4、降低生产成本:优化温湿度控制,降低能耗,提高生产效益。





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