芯片半导体专用冷水机设备简介
PTHC系列高低温动态控温系统主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷,循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。控制系统采用PID控制技术,高清触摸屏显示,设有多项保护功能,确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热,向外界输送载热流体,满足工艺条件要求。
芯片半导体专用冷水机设备特点
全密闭系统:采用全密闭式系统设计,整个循环管路只有加液盖上留出的呼吸孔,导热油不会直接与空气接触,延长了导热油使用寿命同时确保系统运行的稳定性,膨胀油箱始终保持在常温状态,高温时无油雾产生,低温不会结霜。
控温系统:自主开发的温度控制模块,改变控制设定的方法,能够尽快的响应过程中系统的滞后,得到最小的温度过冲。控制由两组PID(每组PID是可变的)控制回路构成,这两组控制回路成为主回路和从回路,主回路的控制输出作为从回路的设定值。系统采用带有前馈PV,主控回路的PID运行结果的输出与前馈PV信号复合后作为主控回路的设定值,通过这样对温度变化进行梯度控制,保证系统的温度精度。
高效换热系统:系统采用管道式加热冷却,参与循环的液体非常少,制冷采用板式换热器,,换热效率高、结构紧凑,加热采用管道式法兰加热器,整个系统的容积(板式换热器容积+管道式加热器容积+循环泵内容积+循环管路容积)。
控制重复性:基于高级动态控制系统,每次都能实现一致的控制结果,大大提升产品生产的稳定性。
产品外观:外观设计吸取国外进口产品的设计理念,采用大口径石英玻璃液位计,液位计与操作屏放在同一侧,观察方便,风格简约时尚,比列协调,专有的色彩搭配。
超高温降温技术:采用超高温降温技术,可以满足在最高300℃高温直接开启压缩机制冷降温。
质量保障:所有的关键部件均选用进口品牌,确保产品长时间可靠运行。同时所有产品发货前均经过严格测试与检验,确保设备到客户现场不会出现任何问题。
普泰克温控系列
低温气体降温制冷设备
冷气制冷机
气体冷却器
气体降温设备
气体降温制冷机
空气冷却温控系统
半导体测试冷气机
半导体测试低温冷却装置
探针台气体制冷高低温系统
探针台气体冷却温控系统
晶圆测试气体温控设备
晶圆气体冷却设备
半导体测试国产替代温控设备
晶圆测试国产替代控温设备
晶圆测试国产替代温控系统
医疗设备气体制冷机
生物样本低温气体制冷机
医用恒温、恒压、恒流功能制冷机
制冷型低温制冷机
直冷型制冷机组
直冷式冷冻机
直冷型低温制冷机
直冷式低温制冷机
直冷式超低温制冷机
直膨式低温冷风机
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