普泰克 PECVD专用Chiller，为PECVD机台配置的精密冷水机或加热冷却一体温控机。它不直接完成薄膜沉积，而是作为PECVD设备的配套热管理单元，负责提供恒温、恒流、恒压的工艺冷却水或导热介质，用于冷却反应腔、基座、射频电源、真空系统及整机冷却回路。

Name: 普泰克 PECVD专用Chiller
Brand: proteco/普泰克
Price: 39000 CNY
Availability: InStock

产品型号：

更新时间：2026-10-19

厂商性质：生产厂家

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半导体高低温测试机

PECVD薄膜沉积温控配套减薄机专用Chiller 流体氟化液温控设备 NH₃废气低温液化回收 SiH₄尾气深冷回收系统气体回收深冷机组半导体特种气体回收可靠性测试冷热源供应温循试验箱热管理封装芯片三温测试冷却晶圆高低温探针台控温扩膜机热盘冷却配套半导体工艺冷板冷却器真空腔体冷板Chiller 水冷gpu测试小型水冷式冷热一体机 vocs废气回收设备低温冷循环机组半导体冷阱光学镜组chiller 热纯水系统 Ultra-Pure Water Heater DI water加热器去离子水高低温循环器超纯水加热装置 DI水专用Chiller 研磨液生产线热管理 CMP研磨液专用Chiller Slurry供给系统热管理湿法设备配套冷却器高低温动态控温系统温变测试系统制冷加热循环器恒温循环器半导体制冷装置半导体制冷恒温系统半导体晶圆半导体专用温控装置半导体晶圆温度控制半导体温控设备chiller 半导体温控装置半导体专用控温设备半导体恒温半导体恒温系统高低温循环器高低温一体机高低温循环装置高低温一体循环机高低温冷热台控温设备半导体冷水机半导体温控系统半导体制冷冷水机半导体冷却一体机半导体高低温系统半导体芯片测试冷水机半导体冷却加热恒温一体机芯片半导体专用冷水机恒温恒流恒压冷水机晶圆测试国产替代温控系统

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产品介绍

普泰克 PECVD专用Chiller，可以理解为为PECVD机台配置的精密冷水机或加热冷却一体温控机。它不直接完成薄膜沉积，而是作为PECVD设备的配套热管理单元，负责提供恒温、恒流、恒压的工艺冷却水或导热介质，用于冷却反应腔、基座、射频电源、真空系统及整机冷却回路。

这台设备具体能干什么

表格

能干什么	对PECVD配套的价值
冷却反应腔/腔壁	带走腔体、电极、夹套等热负荷，降低热漂移，有助于维持沉积过程稳定。
为基座/静电吸盘提供换热介质	维持基座换热回路温度稳定，提升晶圆/样品温度一致性。
为射频电源与匹配网络散热	维持RF部件工作温度，减少热波动对功率输出的影响。
为真空系统提供冷却水	支持干泵、分子泵、机械泵等连续稳定运行。
管理整机工艺冷却水回路	作为外部恒温冷源，降低厂务水温波动对PECVD设备运行的影响。
支持恒温、降温及程序控温	可按工艺阶段提供稳定冷却或温度曲线控制，便于工艺调试和重复性验证。
用于研发、中试和产线配套	在设备开发、热负荷评估和工艺窗口筛选阶段提供可复现的温控条件。

普泰克 PECVD专用Chiller，为什么PECVD需要专用Chiller

PECVD运行过程中，反应腔、射频电源、匹配网络和真空泵组都会产生热负荷；若冷却水温度、流量或压力波动较大，可能影响沉积速率、薄膜均匀性和工艺重复性。普泰克半导体级温控产品控温精度可达±0.1℃，温域覆盖-150℃至350℃，具备全密闭回路、自适应PID控制、模块化扩展和智能监控能力，能够较好匹配PECVD设备对温度稳定性、响应速度和连续运行的要求。

普泰克 PECVD专用Chiller