普泰克制冷设备
专注于半导体行业温控
服务热线：15214387784
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产品型号：
更新时间：2026-10-30
厂商性质：生产厂家
访 问 量 ：3
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产品分类
普泰克 腔室壁温控系统，其设备原理可以概括为：一套为 PECVD 反应腔室壁面提供闭环精密温度控制的冷热一体循环装置。它通过循环介质在腔室壁内的流道或夹套中流动，带走或补充热量，使腔壁维持在设定温度，从而抑制副产物沉积、稳定工艺环境并保护密封件。
PECVD 反应腔室壁面温度直接影响：
副产物沉积：壁温过低时，反应副产物易在腔壁凝结，形成颗粒污染源；壁温过高则可能影响薄膜均匀性或损坏密封。
工艺重复性：腔壁温度波动会改变腔体热场，间接影响沉积速率和薄膜应力。
密封与安全：O 型圈等密封件有耐温上限，腔壁过热会加速老化导致泄漏。
因此，普泰克 腔室壁温控系统的任务是将腔壁温度稳定在工艺设定窗口内，兼顾防沉积与保护密封。
系统以蒸气压缩制冷循环为基础实现降温，以电加热器实现升温或恒温微调，构成冷热双向调节：
压缩机：压缩制冷剂为高温高压气体；
冷凝器：向环境散热，制冷剂冷凝为高压液体；
节流装置：节流降压为低温低压气液混合物；
蒸发器：吸收循环介质热量，制冷剂蒸发后回到压缩机。
循环介质（水或水乙二醇）在蒸发器中被降温，由循环泵送入腔室壁流道/夹套，吸热后返回蒸发器再次降温。需要升温或恒温微调时，电加热器介入补热。部分机型采用热气旁通实现制冷量无级调节，避免压缩机频繁启停。
温度采集：PT100 传感器监测供液温度、回液温度或腔壁测温点温度；
比较运算：控制器将实测值与设定值比较，PID 算法输出控制信号；
执行调节：
需降温时压缩机运行或热气旁通调节制冷量；
需升温或恒温微调时电加热器短时介入；
冷热双向无缝切换，维持腔壁温度稳定；
循环输送：循环泵维持稳定流量，确保腔壁各区域换热均匀。
流量/压力监控：断液或流量不足时报警联锁，防止腔壁局部过热；
液位与超温保护：防止循环泵空转、介质超温；
泄漏检测：监测循环介质泄漏，保护腔室真空环境；
联锁接口：可与 PECVD 主控系统联动，异常时触发安全停机。
| 对比项 | 真空泵冷却系统 | 尾气处理温控系统 | 腔室壁温控系统 |
|---|---|---|---|
| 冷却/控温对象 | 干泵、分子泵泵体 | 燃烧腔壁、排气管道、洗涤液 | 反应腔室壁面流道/夹套 |
| 温度要求 | 防过热为主 | 高温区冷却与低温区保温并存 | 精确稳定在工艺窗口，兼顾防沉积与密封耐温 |
| 关键风险 | 泵过热损坏 | 腐蚀、尾气泄漏 | 副产物凝结、密封老化、热场波动 |
| 控制特点 | 相对温和 | 耐腐蚀、联锁保护 | 冷热双向精密调节，换热均匀性要求高 |
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