普泰克制冷设备
专注于半导体行业温控
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更新时间：2026-10-30
厂商性质：生产厂家
访 问 量 ：4
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普泰克 PECVD冷阱温控系统，其设备原理可以概括为：一套为 PECVD 真空管路中的冷阱（Cold Trap）提供低温冷却或恒温控制的循环装置，通过将冷阱表面维持在低温，使工艺尾气中的可凝性副产物在冷阱表面凝结捕集，从而保护下游真空泵、减少管路堵塞、维持抽气效率。
PECVD 工艺尾气中含有未反应单体、副产物粉尘和可凝性气体。冷阱安装在腔室与真空泵之间的管路上，其作用是：
捕集可凝性副产物：低温表面使副产物凝结，防止其进入真空泵和下游管路；
保护真空泵：减少粉尘和凝结物对泵体的磨损与污染；
维持抽气效率：防止管路因沉积物堵塞导致抽速下降；
降低尾气处理负荷：预先捕集部分可凝物，减轻下游尾气处理装置负担。
普泰克 PECVD冷阱温控系统，温控系统的任务就是为冷阱提供稳定、可调的低温，并在需要时实现化霜/再生温控。
冷阱温控的核心是提供低温，通常采用蒸气压缩制冷循环，部分机型采用复叠式或低温制冷剂：
压缩机：压缩制冷剂为高温高压气体；
冷凝器：向环境散热，制冷剂冷凝为高压液体；
节流装置：节流降压为低温低压气液混合物；
蒸发器：吸收循环载冷剂热量，制冷剂蒸发后回到压缩机。
循环载冷剂（如低温乙二醇溶液或专用载冷液）在蒸发器中被降温，由循环泵送入冷阱换热管路，吸收冷阱热量后返回蒸发器再次降温，形成载冷剂闭环。部分深冷型冷阱直接采用制冷剂在冷阱盘管中蒸发的方式实现更低温度。
温度采集：PT100 传感器监测载冷剂供液温度或冷阱表面温度；
比较运算：控制器将实测值与设定值比较，PID 算法输出控制信号；
执行调节：
需降温时压缩机运行，或通过热气旁通阀无级调节制冷量；
需化霜/再生时，切换至加热模式或停止制冷，使凝结物融化排出；
部分机型具备冷热切换功能，兼顾捕集与再生；
循环输送：循环泵维持稳定流量，确保冷阱换热均匀。
流量/压力监控：断液或流量不足时报警联锁，防止冷阱温度失控；
液位与超温保护：防止循环泵空转、载冷剂超温或冻结；
低温防冻保护：监测载冷剂温度，防止管路冻堵；
联锁接口：可与 PECVD 主控系统联动，异常时触发报警或停机。
| 对比项 | 真空泵冷却系统 | 尾气处理温控系统 | 腔室壁温控系统 | 冷阱温控系统 |
|---|---|---|---|---|
| 控温对象 | 干泵、分子泵泵体 | 燃烧腔壁、排气管道、洗涤液 | 反应腔室壁面流道/夹套 | 冷阱换热管路/冷阱表面 |
| 温度方向 | 防过热（降温为主） | 高温冷却与低温保温并存 | 冷热双向精密调节 | 低温捕集为主，兼顾化霜再生 |
| 关键风险 | 泵过热损坏 | 腐蚀、尾气泄漏 | 副产物凝结、密封老化 | 冷阱温度失控、管路冻堵、捕集效率下降 |
| 控制特点 | 相对温和 | 耐腐蚀、联锁保护 | 换热均匀性要求高 | 低温稳定控制 + 化霜/再生切换 |
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