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  • 普泰克 刻蚀工艺机专用Chiller
    普泰克 刻蚀工艺机专用Chiller

    普泰克 刻蚀工艺机专用Chiller，依托品牌在精密热管理领域的深厚技术积累，专为半导体刻蚀（Etch）制程中严苛的温度控制需求量身打造。

    更新时间：2026-07-28
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  • 普泰克 刻蚀机台冷板温控
    普泰克 刻蚀机台冷板温控

    普泰克 刻蚀机台冷板温控，在半导体刻蚀工艺中，等离子体反应产生的热负荷对反应腔室及晶圆载台（冷板）的温度控制提出了较高要求。冷板表面温度的稳定性与均匀性，直接影响关键尺寸（CD）的控制精度与刻蚀速率的批次一致性。

    更新时间：2026-07-16
    产品型号：
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  • 普泰克 光刻工艺温度控制chiller
    普泰克 光刻工艺温度控制chiller

    普泰克 光刻工艺温度控制chiller，依托成熟的热力学循环与精密自动化控制技术，旨在为半导体光刻工艺提供稳定、洁净、低振动的恒温环境。

    更新时间：2026-06-29
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    浏览量：151
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  • 普泰克 光刻后蚀刻温控
    普泰克 光刻后蚀刻温控

    普泰克 光刻后蚀刻温控，依托其在精密热管理领域的技术积累，致力于为半导体前道核心制程提供稳定、可靠的温度控制解决方案。

    更新时间：2026-06-29
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