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  • 普泰克 等离子体增强沉积温度控制
    普泰克 等离子体增强沉积温度控制

    普泰克 等离子体增强沉积温度控制，它负责给反应腔、基座、射频部件、真空系统和整机冷却回路提供恒温、恒流、恒压的导热介质，实现制冷、加热、恒温、程序控温和闭环换热。

    更新时间：2026-10-19
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