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半导体温控设备Chiller由制冷,加热单元,循环,控制系统组成,全密封结构对环境友好,产品系统多,控温范围广,智能化控制软件,加热制冷速度快。
半导体温控装置温度控制装置 可从高温300℃直接制冷降温,低温可达-150℃,控温精度0.5℃智能型控温,性能稳定,应用于石化,医药,生化,冻干,军工等高科技行业……
半导体专用控温设备是一种用于半导体芯片测试和制造过程中的温度控制设备,可用于控制温度并确保测试结果的准确性。
半导体恒温系统主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。加热循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。冷却系统包括油水换热器、油油换热器(部分设备)、冷却水电磁阀、高温电磁阀等组成。控制系统采用PID控制技术,高清显示屏,设有多项保护功能,确保设备安全运行。通过机组自身的加热与冷却,向外界输送载热流体,满足工艺条件要求。
晶圆测试国产替代温控系统晶圆生产完成后,需要对其进行各种参数的检测,在检测的过程中,需要在不同温度下进行测试,晶圆测试用温控设备(晶圆测试温控系统)是高精度,高分辨率,高稳定性的控制设备。
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