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普泰克 扩膜机专用Chiller解决方案,依托其在精密热管理领域的深厚技术积累与成熟的模块化部件平台,专为半导体先进封装(如晶圆减薄、晶圆贴膜/扩膜工艺)等对温度极其敏感的严苛场景量身打造。
普泰克 晶圆制造领域控温Chiller,在晶圆制造的光刻、刻蚀、薄膜沉积(CVD/PVD)、CMP研磨及离子注入等核心制程中,温度控制的精度与稳定性直接影响晶圆表面的化学反应速率、薄膜生长质量与关键尺寸(CD)的控制精度。
普泰克 PVD工艺晶圆冷板控温,在物理气相沉积(PVD)工艺中,晶圆载台(冷板)的温度控制精度与稳定性直接影响薄膜的沉积速率、均匀性及附着力,进而对芯片性能与良率产生重要影响。
普泰克 半导体工艺冷板冷却器,在半导体刻蚀、薄膜沉积、离子注入等核心制程中,工艺腔体内的冷板承担着精准控温的重要职责。冷板表面温度的均匀性与响应速度,直接影响晶圆表面的化学反应速率与薄膜生长质量。
普泰克 真空腔体冷板Chiller,在真空热试验、半导体晶圆测试、航空航天部件可靠性评估及薄膜沉积等工艺中,真空环境由于缺少空气对流传热机制,负载的热量交换主要依赖热传导与热辐射。为真空腔体内的冷板提供稳定且精准的低温或变温环境,是保障测试数据有效性与工艺一致性的重要环节。
普泰克 水冷gpu测试,在AI算力与高性能计算快速发展的背景下,GPU芯片的功率密度持续提升,单颗芯片功耗已可达数百瓦乃至上千瓦级别。芯片在高负载运行下产生的大量热量,若不能及时且精准地带走,将直接影响测试数据的可靠性以及芯片的长期稳定性。普泰克水冷GPU测试温控系统,旨在为高功耗GPU的可靠性验证、老化测试及性能评估等环节,提供一套具备较好响应性能与控温一致性的液冷温控方案。
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