半导体温控设备-普泰克（上海）制冷设备技术有限公司

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半导体温控设备

半导体废气低温冷凝系统精密控温机组液冷设备光刻机用超纯水Chiller Photo/Track Chiller 光刻后蚀刻温控光刻机涂胶显影机温控 Implant气体降温设备离子注入机温控设备纯水供应管线恒温超纯水温度控制单元抛光液生产温控系统蚀刻液温控chiller CMP浆液温控chiller 研磨液设备专用Chiller

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普泰克 PFC气体回收温控设备

普泰克 PFC气体回收温控设备，普泰克PFC（全氟化碳）气体回收温控设备解决方案，依托其在精密深冷技术与热管理领域的深厚技术积累，专为半导体晶圆制造、微电子封装及先进材料研发等场景量身打造。

更新时间：2026-07-21

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普泰克半导体废气低温冷凝系统

普泰克半导体废气低温冷凝系统解决方案，依托其在精密深冷技术与热管理领域的深厚技术积累，专为半导体制造、微电子封装及前沿材料研发等场景量身打造。

更新时间：2026-07-20

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普泰克刻蚀机台冷板温控

普泰克刻蚀机台冷板温控，在半导体刻蚀工艺中，等离子体反应产生的热负荷对反应腔室及晶圆载台（冷板）的温度控制提出了较高要求。冷板表面温度的稳定性与均匀性，直接影响关键尺寸（CD）的控制精度与刻蚀速率的批次一致性。

更新时间：2026-07-16

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普泰克半导体控温设备

普泰克半导体控温设备，在半导体制造的前道光刻、刻蚀、沉积，到后道封装测试等核心制程中，温度控制的精度与稳定性直接影响芯片性能与良率。

更新时间：2026-07-16

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普泰克精密控温机组

普泰克精密控温机组解决方案，依托其深厚的精密热管理技术积累与成熟的模块化部件平台，专为半导体制造、生物制药、医疗、新材料研发及航空航天等前沿领域量身打造。

更新时间：2026-07-13

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普泰克液冷设备

普泰克液冷设备依托其在精密热管理领域的深厚技术积累，致力于为新能源汽车、半导体、精密仪器及装备制造等前沿领域提供高效、稳定、紧凑的液冷温控解决方案。

更新时间：2026-07-13

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