气体温湿度
【设备特点】
1、精确温湿度调控:确保曝光机、显影/ 涂布设备等制程良率
2、定制化风量设计:根据客户的具体需求,定制风量,送风单元结构均匀布置,确保空气流通的均匀性,进一步提升制程质量。
3、超准温度控制:温度控制精度高达±0.01℃,远超行业标准,为产线环境提供了的稳定性,从而确保了产品的优良率。
【产品应用】
1、温度控制精度:±0.1℃~±0.01℃
2、湿度控制精度:±2%RH~±1%RH
3、广泛适用领域:该设备广泛应用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂等精密温湿度控制领域,助力企业提升产品质量,确保生产过程的稳定与高效。
一、恒温恒湿机在面板厂的应用
在面板制造过程中,对温湿度的控制至关重要。精密恒温恒湿机能够为面板生产提供稳定、精确的环境。以下是精密恒温恒湿机在面板厂的主要应用:
1、提高面板产品质量:通过精密恒温恒湿控制,降低面板产品的缺陷率,提高产品合格率。
2、优化生产流程:稳定的环境有利于提高生产效率,降低生产成本。
3、保护设备:精密恒温恒湿机能够保护生产设备,延长设备使用寿命。
二、恒温恒湿机在晶圆厂的应用
晶圆制造对温湿度的要求高,精密恒温恒湿机在晶圆厂的应用主要体现在以下几个方面:
1、提高晶圆产品质量:稳定的环境有利于降低晶圆缺陷,提高产品质量。
2、保障生产安全:精密恒温恒湿机能够防止静电、氧化等不良现象,确保生产安全。
3、降低能耗:通过优化温湿度控制,降低能耗,提高生产效益。
三、恒温恒湿机在封装测试厂的应用
1、封装测试厂对温湿度的要求同样严格,精密恒温恒湿机在封装测试厂的应用包括:
2、提高封装产品质量:稳定的环境有利于降低封装产品的缺陷率,提高产品合格率。
3、保护测试设备:精密恒温恒湿机能够保护测试设备,延长设备使用寿命。
4、降低生产成本:优化温湿度控制,降低能耗,提高生产效益。