普泰克单片式PECVD温控，主要用于为单片式PECVD设备提供基座/卡盘、反应腔、喷淋头、射频/微波匹配网络及真空系统的加热、冷却和温度管理。它不直接完成薄膜沉积，而是通过稳定单片晶圆在沉积过程中的温度环境，提升薄膜厚度、应力、折射率和均匀性的一致性。

Name: 普泰克 单片式PECVD温控
Brand: proteco/普泰克
Price: 39000 CNY
Availability: InStock

产品型号：

更新时间：2026-10-21

厂商性质：生产厂家

访问量：4

服务热线

15214387784

立即咨询

产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

产品介绍

普泰克单片式PECVD温控，主要用于为单片式PECVD设备提供基座/卡盘、反应腔、喷淋头、射频/微波匹配网络及真空系统的加热、冷却和温度管理。它不直接完成薄膜沉积，而是通过稳定单片晶圆在沉积过程中的温度环境，提升薄膜厚度、应力、折射率和均匀性的一致性。

表格

功能模块	具体作用
基座/静电吸盘恒温	维持单片晶圆在沉积过程中温度稳定，减少片内和片间差异
反应腔/喷淋头控温	带走等离子体放热和工艺热负荷，降低腔体热漂移
射频/微波匹配网络冷却	为RF/VHF/ICP/MW电源、匹配器提供连续冷却，保障长时间运行
真空系统冷却	支持干泵、分子泵、真空阀门等部件稳定工作
程序升降温管理	按工艺曲线完成预热、恒温、缓冷，降低薄膜应力和基板翘曲风险
整机回路管理	通过温度、流量、压力等监控，提升单片工艺重复性
多温区协同控制	适配单片式腔体的分区加热、边缘补偿和温度均匀性控制
研发与产线配套	用于工艺窗口筛选、薄膜应力/折射率调控和批次一致性验证