普泰克批量式PECVD温控，主要用于为批式/管式PECVD设备提供石墨舟/基座、炉管、反应腔、多温区加热回路、冷却回路及辅助部件的加热、冷却和温度管理。它不直接完成薄膜沉积，而是通过稳定批量晶圆在沉积过程中的温度环境，提升薄膜厚度、应力、折射率和均匀性的一致性。

Name: 普泰克 批量式PECVD温控
Brand: proteco/普泰克
Price: 39000 CNY
Availability: InStock

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更新时间：2026-10-21

厂商性质：生产厂家

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产品介绍

普泰克批量式PECVD温控，主要用于为批式/管式PECVD设备提供石墨舟/基座、炉管、反应腔、多温区加热回路、冷却回路及辅助部件的加热、冷却和温度管理。它不直接完成薄膜沉积，而是通过稳定批量晶圆在沉积过程中的温度环境，提升薄膜厚度、应力、折射率和均匀性的一致性。

表格

功能模块	具体作用
石墨舟/基座恒温控制	维持批量晶圆在沉积过程中温度稳定，减少片内、片间和批次间差异
炉管/反应腔多温区控温	适配管式PECVD多温区加热结构，提升沿炉管方向的温度均匀性
等离子体放热补偿	及时带走PECVD放电和工艺热负荷，降低腔体热漂移
程序升降温管理	按工艺曲线完成预热、恒温、缓冷，降低薄膜应力和基板翘曲风险
冷却回路管理	为炉体外壳、真空泵、阀门等部件提供稳定冷却，保障连续运行
批次一致性支持	在多炉管、多批次连续生产场景下，提升工艺重复性
内外双模温控适配	可配合炉壁温度、腔体温度或物料温度进行协同控制
光伏与半导体批式工艺配套	用于氮化硅、氧化硅、多晶硅等薄膜沉积过程中的温度管理