普泰克制冷设备
专注于半导体行业温控
服务热线：15214387784
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普泰克 等离子增强沉积温控机组，等离子体沉积工艺配置的高低温一体温控系统/精密冷水机/TCU温控单元。它不直接完成薄膜沉积，而是为沉积机台提供稳定的工艺冷却水或导热介质，实现制冷、加热、恒温、程序控温和循环换热。
普泰克 高精度PECVD温控，主要承担为PECVD机台提供稳定、精密、可重复的冷却与恒温控制。它不直接参与薄膜沉积反应，而是通过控制腔体、基座、射频电源、真空系统等关键部位的温度，帮助维持工艺热场稳定。
普泰克 配套单晶炉专用chiller，依托品牌在精密热管理领域的深厚技术积累，专为光伏硅片拉晶、半导体单晶生长等长周期、高稳定性工艺场景量身打造。
普泰克 刻蚀工艺机专用Chiller，依托品牌在精密热管理领域的深厚技术积累，专为半导体刻蚀（Etch）制程中严苛的温度控制需求量身打造。
普泰克 半导体专用温控装置，依托品牌在精密热管理领域的深厚技术积累，专为半导体晶圆制造、优良封装测试及泛半导体装备等严苛场景量身打造。
普泰克 气体降温系统，依托品牌在精密深冷技术与热管理领域的深厚技术积累，专为半导体芯片测试、电子元器件老化、材料环境模拟及高精密仪器冷却等严苛场景量身打造。
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