普泰克制冷设备
专注于半导体行业温控
服务热线：15214387784
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普泰克 涂胶显影机温控，涂胶显影（Track）工艺是芯片制造中极为关键的一环，其内部的软烤（Soft Bake）与硬烤（Post Exposure Bake, PEB）等工序对温度的均匀性与稳定性要求。
普泰克 Implant气体降温系统，在Implant（离子注入）等核心前道工艺中，高能离子束轰击产生的瞬时高热负荷对晶圆表面的热管理提出了更为严苛的要求。
普泰克 Implant气体降温设备，依托成熟的热力学循环与精密自动化控制技术，旨在为半导体前道工艺提供稳定、洁净的低温气体环境。
普泰克 离子注入气体降温设备，依托于成熟的热力学与精密控制技术，旨在为半导体前道工艺提供稳定、洁净的低温气体环境。
普泰克 离子注入气体降温系统，是一款专为半导体先进制程量身定制的精密气体制冷装备。在离子注入工艺中，高能离子束轰击晶圆会产生巨大的瞬时热负荷，对晶圆表面的热管理提出了要求。
普泰克 离子注入（Implant)气体降温设备，依托于成熟的热力学与精密控制技术，旨在为半导体前道工艺提供稳定、洁净的低温气体环境。
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